光学技术研发实验室
徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技术的几个问题进行讨论。
“李博士，虽然我们有复眼镜头的加持，但是在靶材、碎屑污染也是问题啊！”
徐华有些犯愁。
虽然说蜂巢复眼镜头技术的出现，从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题，但是仍旧有一些问题存在。
【认识十年的老书友给我推荐的追书app，野果阅读！真特么好用，开车、睡前都靠这个朗读听书打发时间，这里可以下载 .yeguoyuedu 】
众所周知，euv极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源，这就不用多说了。
而极紫外光源主要有五大关键的问题技术需要攻破，才能正式制造出该光源。
其一是多层膜反射镜，由于euv光源子能量极高，几乎可被所有介质所吸收，较高的反射率可以极大提高光源性能�
更多内容加载中...请稍候...
本站只支持手机浏览器访问，若您看到此段落，代表章节内容加载失败，请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式，以及关闭广告屏蔽功能，或复制网址到其他浏览器阅读！
本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！